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硅片清洗废水处理案例|硅片清洗废水处理方法

该厂为8英尺晶圆研发线配套工程的超软水系统化,时刻会产生含硅电镀废水150吨。电镀废泥中虽无高价属,但硅量高易水垢,且电阻功率率需高达18MΩ·cm才造纸废水处里。多余处里加工无非需要满足新发布的《电子元器件工业企业水的大气污染物摆放口要求》(GB39731-2020)有点摆放口规定值。 废液因素优缺点 最主要的危害物 :溶液硅(200-300mg/L)、科粒硅(颗粒直径0.1-1μm) 特种要 :TOC<10μg/L,硼硫含量<5μg/L 环境质量特征参数 :低导电率(<50μS/cm)但硅类化合物特征繁复 正确处理鑫霖环保步骤 研发应用"梯级膜分離+电去阴阳离子"女子组合工序: 微滤预外理 :1μm工业陶瓷膜电话拦截大颗粒状硅,通量能维持80LMH 阴阳离子更换聚酯树脂 :D201大孔树酯会保护性物理吸附硅酸团伙 二级考试RO控制系统 :第一名段回收利用率60%,2段采用了高脱硼膜零件 EDI电去阴阳离子 :直流电压强度2A/m²,持继清掉残留物阴离子 紫外线灭菌 :254nm红外光谱线药量40mJ/cm² 技術不足之处 设计特用阻硅剂(巧妙胺类挽回物),抑制膜的污染周期公式3倍 EDI电源模块创新发展流道定制,硅去掉率不断提升至99.8% 在线平台硅分享仪(自动测量位置0.1-500μg/L)保证 优质有效控制 电脑运行功效 经三是方检查测量: 总硅从280mg/L降到0.05mg/L 硼分量从8μg/L降为0.3μg/L 系统的回笼率从原40%提高自己至68% 膜换过渡期延伸至5年,年开机运行人工成本降低了35%

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